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劃裂后二流體清洗機
主要用途:
清洗劃裂后晶圓,清洗完成后同槽體內進行甩干及吹干
主要功能:
1.自動上料（卡塞來料）
2.滴藥液
3.刷洗
4.二流體清洗
5.甩干+吹干
6.自動下料（入卡塞）
7.生產配方可建立可選
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